爱德华真空泵

  • STP全磁悬浮分子泵
STP全磁悬浮分子泵

STP全磁悬浮分子泵

STP Maglev 涡轮分子泵

型号:STP301STP-IX455STP603STPA803CSTP1003STP-IXA4506C

概述

Edwards STP603 是新型的涡轮分子泵,可用于先进的半导体应用。Edwards 的转子技术可实现一流的性能,制程灵活性。这种泵已经由半导体和磁介质行业的大型设备制造商投入使用,并得到了认可。

应用

· 金属(铝)、钨和电介质(氧化物)以及多晶硅等离子刻蚀(氯化物、氟化物和溴化物)、电子回旋共振 (ECR) 刻蚀、薄膜沉积 CVDPECVDECRCVDMOCVD、溅射、

· 离子注入源,射束线泵送端点站、MBE、扩散、光致抗蚀剂脱模、晶体/晶膜生长、晶片检查、负载锁真空腔、科学仪器:表面分析、质谱分析、电子显微镜、高能物理:射束线、加速器、放射线应用:融合系统、回旋

· 技术数据

入口法兰

ISO160F

出口

KF40

抽速

  N2

650 ls-1

  H2

550 ls-1

压缩比

  N2

>108

  H2

>105

加热时的极限压力(VG/ISO 法兰)

6.5 x 10-6 Pa

(5 x 10-8 Torr)

加热时的极限压力(ICF 法兰)

10-7 Pa

(10-9 Torr)

连续出口压力

13 Pa (0.1 Torr)

额定速度

35000 rpm

启动时间

6 分钟

入口法兰温度

120 °C

输入电压

100 120 (± 10) V 交流或

200 240 (± 10) V 交流

启动时的功耗

0.8 kVA

泵重量

31 kg

控制器重量

9 kg



性能

上一个:等离子设备RPP-V13 下一个:EPX干泵
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