爱德华真空泵

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EPX干泵

EPX干泵

紧凑的占地面积 – 作为可用的小工具上泵之一,EPX 显著节省了占地面积。EPX 可以直接安装到工具上,从而节省了前级管道和安装成本,如果需要也可远程安装;
低运行成本 - EPX 仅需要 1.4 kW 的功率和整合空闲模式,从而可化功率效率;
独特的专利保护机械装置 – EPX 可以从大气压抽空到涡轮分子基准压力,并可以在所有进气口压力下连续工作;
超清洁机械装置 – 传统的高真空轴承底油脂使用油脂润滑,这可能成为制程工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承底油脂,并且不存在任何其他的潜在污染源;
非常可靠 – EPX 基于经过现场验证的 IPX 技术,具有 13 年的 MTBFp (SEMI E10),大约每 5 年维修一次,极大程度地延长了泵的使用寿命;
可兼容的网络 - EPX 系列配有用户控制,可以连接到各种结构的网络,以进行诊断监视和控制。
峰值抽速:180——500m3/h
极限真空:1×10-4mbar——1×10-6mbar
号:EPX180LEPX500L
技术数据

峰值速度

500 m3h-1

295 ft3min-1

8338 lmin-1

极限真空

<1 x 10-6 mbar

<7 x 10-7 Torr

<1 x 10-4 Pa

预热时间(达到标称性能)

30 分钟

入口法兰

ISO160

出口法兰

NW25

噪音

<59 dB(A)

***小冷却水流速

2 lmin-1

冷却水温度

15 – 35°C

电源供给

200/208 V50/60 Hz3

极限功率

1.4 kW

电机额定功率

3.0 kW

TIM

C3

重量

45.2 kg

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